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3D表面测量学

    
     

白光干涉测量法是用于获取在较低纳米范围内的高分辨率3D图形的成熟光学测量方法之一。
由于兼具采集和处理测量点的优点，因此可以在很短的时间内就在大面积上获得相关的高度信息。

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通过压电传感器使物镜沿Z轴移动

  

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干涉模式也可在透明样本和陡峭的侧面上体现。

  

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由于干涉效应，分辨率可达到亚纳米范围。

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相关图的位置确定z轴位置。

  

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GBS的Speedytec技术使用FPGA和GPU进行大规模兼容图像评估和实时3D计算测量数据

  

 

质量保证和研究的典型应用领域是不同粗糙度值的表面（晶片结构，镜子， 玻璃，金属），
确定台阶高度，精确测量弯曲表面（例如微透镜）和非 接触测量内燃机气缸内的活塞冲程区域。
产品系列smartWLI利用此测量原理提供了创新的解决方案。
整个测量过程的控制和分析是使用成熟的smartWLI软件完成的。
高效，稳定和高准确的分析算法是该领域广泛研究和经验的结果。

 

我们提供以下类型的仪器：

 

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 smartWLI扩展–具有多达4个可互换物镜和自动物镜识别功能的通用实验室测量系统
   
   
             
     
 

Combined form and roughness measurements

 

High resolution area measurements

 
   

用于气缸内表面3D测量的移动系统
   
 

   
     
 

Robust filters (polynomial, gaussian and combinations) are the basis for all following evaluation processes. “Robust” are filters which eliminate the influence of cavities and avoid local waves on the filtered surface.

 

“Marbling” – are upstanding structures after the plasma spraying and honing. These structures indicate that particles can break out and cause accelerated wear. These structures can be counted.

 

 

所有smartWLI系统功能强大的评估软件MountainsMap®结合提供，使用户可以基于模板创建简单甚至全面的报告。

 

  

   
     

粗糙度测量

  
   
     

当使用光学表面测量仪器时，用户先前面临的选择是使用触觉测量仪器测量轮廓线还是使用光学测量仪器来测量小区域的3D图像。 由于测量速度的提高，smartWLI系统现在都可以毫无疑问地使两者同时实现。 使用smartWLI系统可以以比触觉测量仪器甚至在单个轮廓线中测量的分辨率更高。测量面积更大。 由于该软件能够补偿触觉尖端的几何形状，因此仍然可以使用轮廓参数（Ra，Rz，Rmax ...），并且可以通过对数千个轮廓的统计观察以及3D图形来补充轮廓参数。 参数（Sa，Sz，Smax ...）。

 

我们提供以下类型的系统：

        
   

 

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smartWLI紧凑型 – 用于生产环境的3D传感器，可手动更换物镜

   

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smartWLI扩展范围 – 具有较大z测量范围的3D传感器，
可用于具有手动可更换物镜的生产中

   

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smartWLI nanoscan – 具有高分辨率和可互换物镜的3D传感器

   
 

The smartWLI 3D sensor family

   
 

*ISO 25174-604 2.1.16
Width full height transmission Wl* < 0.3 µm

   
 

Measurement of surface roughness standards

 

  

 

 

 

 

    
 
 
  
 

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