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      作为过程集成系统的紧凑型光学粗糙度传感器 – horos    
   

horos 能够在波长为 660 nm下，在样品镜面反射光周围（半张角 < 10°）的圆锥体范围内. 高灵敏度地测量光学和非光学表面、涂层和材料的角度分辨光散射分布。

测量技术表面和光学元件上的光散射对测量技术提出了很高的要求。 高动态范围和线性（至少 5 个数量级）必须是可寻的; 结合高灵敏度（噪声等效ARS ~ 10-5 sr-1）对应于亚纳米级的低散射损耗和粗糙度; 以及 具有（每个测量区域 < 1 秒）的超短测量时间。我们在 horos 中将所有这些顶级参数组合在了一个系统中。

 

散射传感器的图示

技术规格

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照明波长：例如 650 nm

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灵敏度：ARS < 10-4 sr-1，rms < 0.5 nm

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工作距离：> 10 mm

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测量时间：< 1 s

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校准的定量测量

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紧凑尺寸：200 × 170 × 65 mm³

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选项：与机械臂组合

 

应用

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将传感器直接集成到光学制造过程中以进行质量控制

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基于 CAD 数据的平面和自由曲面的全自动化测量

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根据 ISO 10110-7 标准进行缺陷表征

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检测小颗粒（例如单个细菌细胞等）

 
 

超抛光硅晶片的散射图像 (ARS)

 

Sensor mounted on 6 axis robot. 有 Jena 的 Fraunhofer IOF 提供

 

  

 

 

    
 
 
  
 

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