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      Kompakter optischer Oberflächen-Rauheitssensor als prozessintegrierbares System – horos    
   

Der horos ermöglicht hochempfindliche Messungen der winkelaufgelösten Streulichtverteilung von optischen und nicht-optischen Oberflächen, Beschichtungen und Materialien bei einer Wellenlänge von 660 nm in einem Kegel (halber Öffnungswinkel < 10°) um das spiegelnd reflektierte Licht einer Probe.

Die Messung der Lichtstreuung an technischen Oberflächen und optischen Bauteilen stellt hohe Anforderungen an die Messtechnik. Ein hoher Dynamikbereich und Linearität (mindestens 5 Größenordnungen) muss adressierbar sein, in Kombination mit hoher Empfindlichkeit (Rauschäquivalent ARS ~ 10 – 5 sr-1) d.h. geringe Streuverluste und Rauheit im Sub-Nanometerbereich, sowie mit ultrakurzen Messzeiten
(< 1s pro Messfläche). Mit dem horos vereinen wir all diese Spitzenparameter in einem System.

 

Aufbau des Streulichtsensors

Technische Daten:

Beleuchtungswellenlänge: z.B. 650 nm

Empfindlichkeit: ARS < 10-4 sr-1, rms < 0,5 nm

Arbeitsabstand: > 10 mm

Messzeit: < 1 s

Kalibrierte quantitative Messungen

Kompakte Abmessungen: 200 × 170 × 65 mm³

Option: Kombination mit Roboterarm

 

Anwendungen:

Integration des Sensors direkt in optische Fertigungsprozesse zur Qualitätskontrolle

Vollautomatische Messungen von ebenen und Freiformflächen auf Basis von CAD-Daten

Defektcharakterisierung gemäß Standard ISO 10110-7

Detektion von kleinen Partikeln (z.B. einzelne Bakterienzellen und andere)

 

 

Streuungsbild (ARS) eines superpolierten Si-Wafers

 

Sensor montiert auf 6-Achsen-Roboter. Mit freundlicher Genehmigung des Fraunhofer IOF Jena

 

 

 

 

   
     
 

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